CVD是化學(xué)氣相沉積的英文簡(jiǎn)寫(xiě)，本公司生產(chǎn)的單溫區CVD管式爐系統是利用管式爐加熱，把構成固態(tài)沉積物的氣態(tài)反應劑或液態(tài)反應劑的蒸氣及反應所需其它氣體引入爐管內，在爐管內使氣態(tài)或蒸汽狀態(tài)的化學(xué)物質(zhì)在氣相或氣固界面上經(jīng)化學(xué)反應形成固態(tài)沉積物的技術(shù)。