VS系列真空控制系統

LVSE-0.1低真空控制系統

產(chǎn)品應用：

該系統為一組低真空機組設備，控制設備真空度小于1Pa一下；配合真空管式爐、箱式氣氛爐等真空設備使用

設備組成：

設備由真空法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計、真空波紋管、支架、真空泵組成

技術(shù)參數：

1. 真空泵：FX-16
2. 真空泵抽氣速度：16m³/h（4L/s）
3. 真空泵極限壓強：（Pa）≤4*10^-2
4. 高真空擋板閥：KF25不銹鋼高真空擋板閥
5. 真空波紋管：KF25*1000mm
6. 真空計VRD-I:規管型號ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規
7. 電源功率：220v/50Hz；0.8kw
8. 出氣進(jìn)氣口規格：KF25
9. 連接口：2個(gè)KF25接口

LVSE-0.1A可調低真空控制系統

產(chǎn)品應用：

   該系統為一組低真空恒壓機組設備，控制設備真空壓力恒定在1.0KPa—100.0KPa之間；配合真空管式爐、箱式氣氛爐等真空設備使用

設備組成：

   設備由真空法蘭、高真空擋板閥、電阻真空計、真空波紋管、支架、真空泵、變速器、電動(dòng)調節閥門(mén)等組成；

技術(shù)參數：

1. 真空泵：FX-16
2. 真空泵抽氣速度：16m³/h（4L/s）
3. 真空泵極限壓強：（Pa）≤4*10^-2
4. 高真空擋板閥：KF25不銹鋼高真空擋板閥
5. 真空波紋管：KF25*1000mm
6. 真空計：VRD-I:
7. 規管型號ZJ-53B/ZJ-54D短絲熱偶規
8. 電源功率：220v/50Hz；0.8kw
9. 調速變頻器：0.75kw
10. 壓強控制范圍：1.0KPa—100KPa
11. 壓強控制精度：±1KPa
12. 出氣進(jìn)氣口規格：KF25
13. 連接口：2個(gè)KF25接口

HVSE高真空控制系統

產(chǎn)品應用：

   該系統為一組復合分子泵、前級抽氣泵機組設備，控制設備真空度小于8*10^-4Pa；配合真空管式爐、箱式真空氣氛爐等高真空設備使用；廣泛應用于表面分析、半導體設備、等離子體技術(shù)、電真空器件的制造及真空技術(shù)研究

設備組成：

設備由復合分子泵、前級抽氣泵、隔斷放氣閥、前級管路、分子泵電源、高真空檢測系統（復合真空計）、控制電源組成

產(chǎn)品特點(diǎn)：

預抽氣旁路設計，前級抽氣不經(jīng)過(guò)分子泵避免預抽氣體中顆粒進(jìn)入分子泵

技術(shù)參數：

前級真空泵：TRP-24           

真空泵抽氣速度：4L/s

分子泵：FJ-620               

抽氣速率：600L/s

分子泵極限壓強：6*10-6Pa       

建議啟動(dòng)壓強：＜100Pa

排氣口法蘭：KF40             

 進(jìn)氣口法蘭：DN160LF

波紋管：KF40*1000mm           

復合真空計：ZDF-III

真空電磁擋板閥：KF40          

真空腔體真空度：＜8*10-4Pa

工作電壓：220v/50Hz